概述Trelleborg 的 Isolast® PureFab® FFKM 弹性体为半导体制造的密封应用提供无氟表面活性剂配方。旨在支持高纯度工艺,减少潜在污染源,同时保持 FFKM 的化学和耐热性能。
主要优点- 无氟表面活性剂配方,降低晶圆制造及相关环境中的工艺污染风险
- 提高纯度、低可提取物以满足严格的污染控制要求
- 在半导体工艺化学品和温度范围内保持稳定的密封性能
典型应用- 用于半导体制造设备的密封组件,包括阀门、泵和设备接口
技术规格- 组成:无氟表面活性剂弹性体(FFKM 家族)
- 预期用途:半导体密封应用
- 可用形式:O 型圈、定制密封、垫圈和模制件
- 包装选项:兼容洁净室的包装及低颗粒处理方案
- 品牌:Trelleborg
- 商用名称:Isolast® PureFab® FFKM