设计特点
大,清楚的开口
从100 mm x的旅行范围100 mm到400 mm x 400 mm
高性能直线运动指南
15弧秒正交性
高精确度的没有接触的线性编码器
对高精确度的需求,健壮,开放框架阶段与ATS3600回面。这个双重轴,大开口,开放框架阶段处理扫描显微镜、薄酥饼和电路板检查和自动化的汇编的独特的需要。
设计和建筑
不同于从几个分离片断被装配的其他设计,ATS3600是一个三件一套设计。这允许重要组分例如在最初加工期间和扁平将被控制的正交性、平直度,造成与例外几何容忍和固有正交性的一个阶段。
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