设计特点
集成式小尺寸 XY 线性电动机平台,具有透明光圈
卓越的几何性能(直线度达 ±0.5 µm,平面度达 ±1.25 µm)
针对高动态应用进行了优化
速度达 2 m/s,加速度达 2g
集成电缆管理
大量选择 - 九种行程和精度型号
Aerotech的...narDLA系列平台具有清晰的孔径、高动态和卓越的几何性能,结构紧凑,外形小巧。从需要高动态和微米级直线度的双面 LED 晶圆加工,到需要高精度和精确几何性能的准静态光学计量,这些平台都是必不可少的应用。无论哪种应用,...narDLA 都能通过一系列可配置选件满足各种应用需求。
超精密平台设计
...narDLA XY 设计为对运动直线度和平面度要求极高的应用提供了无与伦比的平面几何性能。高精密滚柱轴承、精密加工表面以及通过轴的刚性中心驱动的非接触直驱直线电机,使定位平台具有卓越的几何公差(直线度达到 ±0.5 µm,平面度达到 ±1.25 µm)。
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