设计特点
集成,低调,X - Y的直线电动机阶段
毫微米级的表现以一个大旅行格式
高分辨率(1毫微米),反复性(75毫微米)和准确性(250毫微米)
<1 nm的位置稳定
反蠕动横渡路辗轴承
与直接驱动技术的高动态性能
表现超等级选择
介绍
Aerotech的蚂蚁系列阶段是与很大地比25 mm旅行的世界的第一个毫微米级的定位系统。ANT95-XY横渡路辗轴承,直线电动机,双重轴阶段只提供60 mm极低的外形。阶段来与私有的直接驱动马达技术、没有接触的线性编码器、极限、联合缆绳管理系统和三个表现等级。
Ultra-Precise阶段设计
ANT95XY设计允许关键因素例如正交性、将被优选的平直度和扁平,造成与例外几何容忍的一个阶段。Aerotech的直接驱动技术没有滞后作用或后退,使能准确和反复性的毫微米标度行动在X和Y维度。两个旅行选择(25 mm x 25 mm和50 mm x 50 mm)来与60 mm外形高度。联合缆绳管理系统在青年设计和使阻力减到最小。
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