高精度非接触表面测量。
TR Scan Compact WLI系列允许对任何类型的材料进行亚纳米级分辨率的测量。凭借其使用简单和小巧的尺寸,它可以轻松集成到实验室环境中,并允许快速和简单的测量。
WLI(白光干涉仪)技术与压电电机结合,允许进行极快的测量。该台面允许手动移动重达5公斤的工件。可选配电动台面以扩展X&Y测量范围。
- 非接触
- 小占地面积
- 测量范围400 µm
- 分辨率0.1纳米
- 极易使用
- 2.5倍和5倍Michelson型光学器件,视野广阔
- 可更换光学器件,或安装在旋转台上
技术细节
分辨率: 0.1 nm
横向分辨率 (X/Y): 4.81 µm至0.52 µm
测量范围: 400 µm
光学变焦: 2.5倍至100倍
工作距离: ~10.3 mm至~3.4 mm
规格
温度范围: 0至50 [°C]
通道: 2
分辨率: 0.01 [°C]
精度: ±0.5 [°C]
通信协议: USB或串行通信
电源: 从USB或串行
电源: 0.5 [W]
尺寸: 82 x 102 x 36 [mm]
重量: 350 [g]
温度传感器
传感器类型: PT100
电缆长度: 3 [m]
公差: DIN EN 60751 1/3 DIN类
串行通信配置
波特率: 9600 [位/秒]
位: 8
奇偶校验: 无
可用型号
TR Scan Compact WLI
TR Scan C. WLI MA 73×55
TR Scan C. WLI MO 75×50
TR Scan C. WLI MO 100×100
TR Scan Compact WLI 多目标(旋转台)
TR Scan E. WLI MA 73×55
TR Scan E. WLI MO 75×50
TR Scan E. WLI MO 100×100
品牌: Trimos
产品: TR Scan Compact WLI
测量技术: 白光干涉仪 (WLI)
分辨率: 0.1 nm
测量范围: 400 µm
手动和电动台面选项
可更换光学器件,旋转台选项
重量: 350 g (不含传感器)
尺寸: 82 x 102 x 36 mm (不含传感器)
电源: USB或串行
工作温度: 0至50°C