高精度的非接触测量系统
提供超高的精度,在整个测量范围内(0,05毫米至10毫米)线性度为±0,5微米,在窄范围内为±(0,3+0,1ΔD)微米。
超高的重复精度为±0,04 μm。
3200次/秒的高扫描率
分辨率
(可选择)。
0,00001 - 0,01 mm
20°C时的线性度 *¹:
整个范围:
± 0,5 μm
窄范围:
±(0,3+0,1ΔD) μm
位置误差 *²:
±0,5μm
测量区域。
2 x 10 mm (ø0,05-0,1 mm)
4 x 10 mm (ø0,1-10 mm)
激光波长。
650纳米,可见光
扫描速度。
3200次/秒的扫描
扫描速度。
113米/秒
适用的激光标准。
IEC,FDA
重复性(±2ơ)。
±0,04 μm
英制-公制。
公制
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