晶圆用电镀设备 A-52-ST-LAAS-SO

概述
本产品为晶圆镀膜设备，型号 A-52-ST-LAAS-SO，属于强搅拌型，系与 LAAS（CNRS）合作开发。基于传统 A-52 配置进行了改进设计，以降低高搅拌速度下液体溢出或飞溅的风险，从而在要求苛刻的晶圆镀膜工艺中提升运行可靠性。LAAS 持有与本设备使用和工况相关的技术数据与研究成果。

合作方
[海外技术合作方] LAAS - CNRS (French National Centre for Scientific Research)
由 CNRS 与 LAAS 研究所提供，均为法国 Renatech 网络成员（截至 2026 年 2 月）。LAAS（Laboratory for Analysis, Systems and Architectures）为 CNRS 下属研究机构，位于图卢兹，隶属于 INSIS 与 INS2I 部门。

特性 / 技术规格

• 型号：A-52-ST-LAAS-SO
• 类型：强搅拌型晶圆镀膜设备
• 开发：与 LAAS（CNRS）合作开发
• 设计要点：为防止高搅拌速度下的液体溢出而进行的改良
• 配置：基于传统 A-52 型号的配置