高真空度(毫巴):5.0×10-7
空载真空度(mbar):5.0×10-7(室温)
真空管泄漏率:1×10-9std/cc/秒
压力调节范围
多个范围(mbar/Torr):可调
温度均匀性:±2℃
2 - 保温罩
内部尺寸(毫米)
(直圆柱形部分) - ø 800×800 - ø 1000×1000 - ø 1500×1500
3 - 真空室
内部尺寸(毫米)
(直圆柱形部分) - ø 1000×1000 - ø 1200×1200 - ø 1700×1700
4 -隔热板尺寸(毫米) - 600×500 - 800×700 - 1300×1200
5 - 高真空度(毫巴) - 5.0×10-7
6 - 空载真空度(mbar) - 5.0×10-7(室温)
7 - 压力调节
多范围(mbar/Torr) - 在以下压力水平下稳定运行
1.0×10-2 , 1.0×10-3 , 1.0×10-4 , 1.0×10-5 , 1.0×10-6 (室温)
8 - 真空管泄漏率 - ≤ 1×10-9 std/cc/sec
9 - 制冷模式 - A:散热器 + 冷板
B:散热片 + 加热笼
C:液氮散热器+加热笼
(散热片和冷板表面)
11 - 温度均匀性 - ±2℃
(在稳定条件下,在散热片和冷板上的任意点测量
和冷板上任意一点的测量值
在真空环境中对散热器和冷板上的任意一点进行测量)
12 - 温度上升/
温度下降速度 - -70℃ 至 100℃ ≥ 3℃/min
100℃ 至 -50℃ ≥ 3℃/min (通过机械冷却)
13 - 升温/降温速率
可选 - -150℃ 至 125℃ ≥ 3℃/min
125℃ 至 -150℃ ≥ 3℃/min (通过加压 GN2 循环)
14 - 真空采集系统 - 机械泵/罗茨泵/分子泵/低温泵
15 - 电源 - AC380V 3 相 5 线 50/60Hz
16 - 我们拥有解决综合温湿度控制难题的专业技术知识
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