管理软件 MeX

分析测量切割

MeX是一个独立的软件包，将任何带有数字成像的SEM变成一个真正的表面计量设备。使用立体图像，该软件自动检索三维信息，并提出一个高度准确、强大和密集的三维数据集，然后用于执行可追溯的计量检查。无论SEM的放大率如何，都能获得结果，提供宏观和微观层面的计量。运行MeX不需要额外的硬件，它可以与任何SEM一起使用。由于独特的自动校准程序，校准数据被自动完善。因此，只有MeX能在SEM的任何放大倍数下进行可追踪的3D测量。 高度和粗糙度测量 轮廓测量可以实现试样的虚拟切割。用户在光学图像上定义一个路径，并收到相应的三维轮廓。粗糙度和轮廓测量符合公认的国际EN ISO标准，如4287/4288。轮廓分析也允许拟合基元，如圆、角或其他。 体积分析 体积分析可以计算出空隙和突起的体积。测量区域是直接在光学图像上定义的。体积是在整个肥皂膜模型的计算过程中确定的。对于所选区域的三维边界，MeX计算出一个像肥皂膜一样的覆盖表面。 面积测量 面积分析提供了一个表面的Sa、Sq和Sz的测定。粗糙度、波浪度和用户定义的表面斑块的分形尺寸等参数都可以实现。